84 品牌故事 攀登高精密环境检验测试之峰 访中电投检测中心有限公司董事长谭军 ◎ 文 《法人》全媒体记者 李韵石 实验室环境是高新技术诞生圣地，高精密设 域奋起直追，高精密设备制造受控环境对高科技 备制造受控环境对高科技发展至关重要，稍有偏 发展至关重要。此前，中国许多技术不成熟，除 差，将影响实验成果的最终落地。中电投工程研 了存在技术缺陷外，实验室洁净程度不达标也是 究检测评定中心有限公司（下称“中电投检测中 影响相关技术进步的重要的条件。没有技术怎么办？ 心”）作为全国首家高精密制造业环境质量检验国 只能靠自己，通宵攻克难题，熬夜掉头发已是常态。 家级质检中心，成立 12 年来始终致力于检验检 那么 , 何为高精密设备制造受控环境呢？ 测领域，成功完成了国家多个重点项目检测任务， 对此，谭军和记者说，就很干净的环境。 为我国高新技术发展提供了环境基础保障。 按照 ISOI 级要求，每立方米内直径大于 1μm（一 根头发丝直径的 1/60）的颗粒不能超过 10 个，对 国家技术标准制定者 检测提出极高要求。 四月末的一天下午，在中电投检验测试中心北京 “高精密设备制造受控环境的洁净度远超手术 总部会议室，接受《法人》记者正常采访的中电投工 室洁净度。”谭军向记者讲述 ,“比如光刻机，我 程研究检测评定中心有限公司董事长谭军表示， 国现有光刻机良品率还有很大提升空间。” 中电投检验测试中心隶属于中国电子工程设计院有限 谭军介绍，中国大陆地区目前在 28nm 工艺 公司（下称“电子工程院”）。中心成立的目的是 的良品率已达到 99%，而 14nm 工艺良品率仅 为了可以更好地发展我国半导体产业，需要成立 达到 90% 至 95%。芯片制造工序高达 1000 多步， 国家级的、综合性的负责高精密设备制造受控环 即使每一步工序合格率都有 99%，最终良品率也 境检验测试单位。 会在 0.9 乘 0.9 的多次累积下，趋近于 0。所以， “2010 年，中心刚成立时，我们只有 12 个人。” 每个步骤合格率需要控制在 99.99% 乃至 99.999% 谭军回忆起中电投检验测试中心的发展历史，笑中带 以上。每个配件必须极其精密，相关配件具有很 着些许感慨。“成立之初，我们压力很大，因为许 大突破空间。 多检测技术不掌握，只能摸着石头过河，一点点 “在高精密制造业，特别是芯片半导体行业， 探索某项技术的环境要求参数。” 如果提高一个百分点的良品率，不但可以给一个 谭军和记者说，随着全球芯片、制药和生物 制造公司能够带来 10 亿元人民币的利润，更重要的 技术为代表的现代高科技发展，中国要在这些领 是，可为制造更精密光刻机提供重要技术上的支持。”
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